干式螺桿真空泵中呈現(xiàn)顆粒物的情況以及措施

北京曌越東方科技有限公司小編介紹，干式螺桿真空泵種類很多，按照工作原理可分為兩類：容積式干式螺桿真空泵和動(dòng)量傳送式干式螺桿真空泵。這兩類的干式螺桿真空泵的特性有哪些呢?普通干式螺桿真空泵的特性具有清潔方便，安全適用，耐磨性能強(qiáng)，造價(jià)低，維修方便，性能穩(wěn)定，振動(dòng)小，噪音低等特性，干式螺桿真空泵有著愈加有意義的價(jià)值和更普遍的運(yùn)用。干式螺桿真空泵在清潔方面，用油潤滑的干式螺桿真空泵都會(huì)有一個(gè)潛在的油蒸氣的污染源存在，必須采取一定措施加以處置此類問題。

北京曌越東方科技有限公司小編介紹，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主要應(yīng)用對(duì)象的干式螺桿真空泵，會(huì)在許多抽氣工藝過程中呈現(xiàn)一些顆粒物，普通說來，在干式螺桿真空泵中呈現(xiàn)顆粒物有三種情況即在干式螺桿真空泵內(nèi)產(chǎn)生反響氣體的生成物，抽氣過程混入的顆粒物，當(dāng)干式螺桿真空泵內(nèi)壓力增高時(shí)惹起氣固變相過程的發(fā)作。

北京曌越東方科技有限公司小編介紹，防止顆粒物在干式螺桿真空泵中構(gòu)成的措施從三方面考慮，一方面恰當(dāng)進(jìn)步泵溫；物質(zhì)的升華，凝結(jié)是壓力和溫度的函數(shù)，且函數(shù)聯(lián)絡(luò)隨物質(zhì)的不同而不同，所以調(diào)整泵的溫度可避免氣固變相進(jìn)程的發(fā)作；一方面降落參與化學(xué)反響氣體的濃度。單位時(shí)間內(nèi)氣體反響生成物(顆粒)的數(shù)量可用反響率來標(biāo)明，而反響率和反響氣體濃度成指數(shù)聯(lián)絡(luò)，所以在消費(fèi)工藝中充入惰性氣體，減少反響氣體濃度是降落生成顆粒物的更有效的辦法，通常這類泵緊縮氣體之前就通入惰性氣體，避免固體顆粒物的發(fā)作；一方面增加抽氣通道中的氣流速度，為避免處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物堆積，使氣體的活動(dòng)速度大于顆粒物堆積的臨界速度，在干式螺桿真空泵內(nèi)及早充入適量的氣體，使氣流速率大于顆粒堆積臨界速度，保證顆粒物完成氣動(dòng)運(yùn)送，但是充入氣量不能過大，過大的氣量將影響泵的極限壓力，在不同的抽氣體系中，經(jīng)過實(shí)驗(yàn)斷定更佳充入氣量。

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