本系列是由無油爪泵和無油分子真空泵串聯(lián)而成，結(jié)合了兩種泵的優(yōu)點(diǎn)，結(jié)構(gòu)緊湊,運(yùn)行可靠。本單位是國內(nèi)唯一家具有干式分子泵機(jī)組的廠家。由于分子泵啟動條件比較嚴(yán)格，對前級泵的極限真空度要求比較苛刻，必須在干泵真空度抽到<10Pa后，分子泵才可以啟動，這樣可以獲得較高的真空度。廣泛用于:真空實(shí)驗室等特殊無油高空度環(huán)境。用無油爪泵做前級泵，對被抽環(huán)境無污染,無返油,維護(hù)周期長,且能維持長期穩(wěn)定的極限壓力。

干式分子機(jī)組ZYFJ技術(shù)參數(shù)表：